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普泰磁控溅射镀膜OEM/ODM加工简介

 

普泰柔性基材磁控溅射镀膜机由核工业西南物理研究院自主设计,拥有完全自主知识产权并申请、获得多项国家专利。
普泰柔性基材磁控溅射镀膜机主要适用于在卷式柔性基材上镀制大面积、高精度,热蒸发及电子束镀膜无法满足要求的薄膜,附加值较高。镀制的薄膜特点为均匀性好、膜层致密、膜基结合力好,非常适合应用在隔热窗膜、宽幅柔性电路板等对性能和质量有较高要求的领域。
普泰柔性基材磁控溅射镀膜机主要配置

配置
作用及特点
真空系统
真空获得及测量
Polycold系统
除可凝性水气等
冷热水系统
-300С~300С,冷却基材防止基材受热变形
六套孪生靶系统
可分别独立使用
PEM反应溅射控制系统
提高反应溅射速度
光学在线监测系统
测可见光透、反射率

 
普泰柔性基材磁控溅射镀膜机特点

项目
要求及特点
适用基材种类
PETPI等柔性基材
卷芯直径
6英寸
基材宽度
1560mm
镀膜宽度
1540mm
镀膜均匀性
±2%
基材******卷经
570mm
可镀膜层种类
TiCu等多种金属膜
TiO2TiN等化合物膜
***多一次可镀六层膜系结构



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